Tektronix泰克 Keithley 2601B-PULSE System SourceMeter® 10 μs 脉冲发生器/SMU 仪器
无需手动脉冲调整即可实现高脉冲保真度
通过 2601B-PULSE 控制回路系统,高达 3μH 的负载变化无需手动调整,从而确保在任何电流水平(最高 10 安培)下输出 10 μs 至 500 μs 脉冲时,脉冲均不会出现过冲和振荡。脉冲上升时间 < 1.7 μs,确保您可以正确检定被测器件或电路。
- 输出 10 A @ 10 V,脉冲宽度为 10 μs
- 脉冲上升时间 <1.7μs,可轻松检定
- 高保真脉冲输出,在任何电流水平下均无需调整


将快速脉冲发生器功能与 SMU 功能集成至一台仪器中
2601B-PULSE 在业界领先的吉时利 2601B SMU 仪器所提供的测量完整性、同步性、速度和准确性基础上新增脉冲发生器功能。
- 通过 1 MS/s 的数字化功能,实现脉冲发生器 0.05% 的基本测量精度
- SMU 100 nA 低电流范围与 100 fA 灵敏度
- 后面板 BNC 连接实现电缆快速设置
嵌入式脚本和连接提供无与伦比的生产吞吐量
测试脚本处理器 (TSP®) 技术可在 SMU 仪器内嵌入和执行完整测试程序,提供业界最佳性能。TSP-Link® 技术支持扩展多达 32 个 TSP 链路节点,以创建高速、SMU-Per-Pin 并行测试(而不使用主机)。
- 消除与 PC 之间耗时的总线通信
- 高级数据处理和流量控制
- 连接多达 32 个 TSP 链路节点
- 随着测试要求变化轻松重新配置

型号 | 通道 | 最大电流源/量程 | 最大电压源/量程 | 测量分辨率(电流/电压) | 电源 |
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2601B-PULSE | 1 | 10 A | 40 V | 100 fA / 100 nV | Pulser: 100 W instantaneous SMU: 200 W instantaneous |

ToF/LIDAR 应用的激光二极管 (VCSEL) 生产测试
2601B-PULSE 是激光二极管垂直腔表面发射激光器 (VCSEL) LIV 生产测试的理想解决方案,采用高速高精度 10μs 脉冲发生器和 SMU,可用于 VCSEL、VCSEL 阵列和激光二极管模块的电流脉冲源和电压-电流监测。SMU 提供最经济实惠的 LIV 仪器,系统同步和吞吐量高。
- 可编程脉冲电流源可达 10 A 电流和 10 µs 脉冲宽度
- 电压和电流测量分辨率为 100 nV 和 100 fA
- 内置 TSP® 处理功能可减少 PC和仪器总线通信
如何使用 2601B-PULSE System SourceMeter SMU 仪器生成 10 μs 脉冲 当输出低至 10 µs 的脉冲时,新型电流脉冲发生器/SMU 无需耗时的手动计时
故障分析和质量保证
半导体公司和半导体研究人员不断寻找方法,使测试设备不会成为其在半导体领域有所突破的阻碍。半导体故障分析 (FA) 工程师耗时无数,试图了解设备故障的原因及在将来如何预防。
- 通过 SMU 和脉冲测试简化 FA 过程
- 数字 I/O 触发外部 IR 摄像机
- 内置定时器功能,分辨率为 1μs,精度为 ±100 ppm。
使用源测量单元和锁定热成像技术进行故障分析的先进技术

简化的 LED 脉冲式/直流 I/V 检定
2601B-PULSE 独特的电流脉冲、直流电压和电流功能可实现高速 LED 直流和脉冲 IV 检定及生产测试,具有 0.015% 的基本测量精度。对 microLED、LED 或高亮度 LED (HBLED) 执行脉冲测试可最大程度地减少自发热,并减少对测量精度的负面影响,此外,无需担心损坏被测器件。
- 可编程电流源可达 10 A 电流和 10 µs 脉冲宽度
- 电压和电流测量分辨率为 100 nV 和 100 fA
- 1 M 样点/秒数字化器,用于快速采集和测量数据
- 内置 TSP 处理功能可减少 PC 仪器总线通信
晶圆半导体测试
Keithley 2601B-PULSE 和其他系列 2600B System SourceMeter® SMU 仪器将堆架式仪器的可扩展性和灵活性与基于主机系统的集成和高吞吐量相结合,使用 TSP 和 TSP 链路技术减少制造活动和测试成本。这些仪器通常用于激光二极管、LED、晶体管等晶圆半导体测试。
- 内置 TSP 处理功能可减少 PC 仪器总线通信
- TSP-链路多达 32 台仪器可在 500 ns 内与其他 Keithley TSP 仪器同步

附件 | 描述 |
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2600-BAN | 香蕉插头接口电缆 |
2600-KIT | 2600 系列螺丝端子连接器套件 |
2601B-PULSE-CA1 | 2601B-PULSE 1.2 米 50 欧姆 BNC 至 BNC 电缆套件 |
2601B-PULSE-CA2 | 2601B-PULSE 3 米 50 欧姆 BNC 至 BNC 电缆套件 |
2601B-PULSE-CA3 | 2601B-PULSE 3.0 米 15 欧姆 BNC 至 BNC 电缆套件 |
4299-1 | 重载机架安装套件 2600 系列单单元 |
4299-2 | 适用于两台仪器的重型机架安装套件 |
7078-TRX-GND | 3 槽三芯同轴插头至 BNC 适配器(防护已去除) |
8101-PIV | PIV 演示夹具 |
KPCI-488LPA | 低矮型 IEEE-488 接口板 |
KUSB-488B | IEEE-488.2 USB-GPIB 接口适配器 |
通道数
1 台脉冲发生器/1 台 SMU
脉冲发生器 V/I 范围
1 μA - 10 A
1 μV - 10 V
SMU V/I 范围
100 fA - 10 A
100 nV - 40 V
精度
脉冲发生器:0.05%
SMU:0.015%
最大速度
1 M 个读数/秒